KCIP产品小课堂|【创新广场】Vol.7！广泛应用于半导体生产设备的精密陶瓷
京瓷广泛应用于
半导体生产设备的精密陶瓷产品
京瓷（中国）创新园——KYOCERA （China） Innovation park（以下简称：KCIP），作为京瓷集团在中国企业文化传播的据点，始终致力于创新技术及产品的研发与应用，旨在提供一个在中国新颖而富有创造性的技术展示和交流“平台”。其中，“创新广场”作为KCIP的创新展示平台，汇聚了众多具有前瞻性和创新性的产品与技术。
精密陶瓷，具有高硬度、耐磨、耐腐蚀、高温稳定等众多优势。精密陶瓷部件，主要是指应用在半导体设备中的高精密复杂结构陶瓷部件，是半导体设备的关键部件，其研发生产直接影响半导体产业发展。 近几年，半导体行业迅速发展，产业规模急速增大，半导体制造设备持续向精密化、复杂化演变，高精密陶瓷关键部件的技术要求也越来越高。
京瓷在创立之初专门从事精密陶瓷的研发与生产，至今六十多年，积累了丰富的经验和深厚的核心技术，产品广泛应用于半导体等领域。今天，我们将为大家介绍两种广泛应用于半导体生产设备的精密陶瓷产品。
耐等离子体材料
（有利于提升下一代蚀刻技术）
新一代蚀刻技术需要更加强劲可靠的材料，以解决等离子体腐蚀、微粒产生、金属污染等问题。京瓷提供的耐等离子体材料是新一代蚀刻技术的理想选择。
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耐等离子体
氧化钇
氧化钇具有卓越的抗等离子体腐蚀特性，对于力求降低颗粒污染的半导体加工设备应用而言是理想之选，因为它能降低设备零件更换频次，提高生产效率。
真空吸盘
（可根据使用条件 进行各种表面加工）
精密陶瓷真空吸盘经过高精度和复杂的表面加工，可处理晶圆夹持、搬运等各种工序。
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高刚性
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高精度
| 产品参数 | |
|---|---|
| 材料 | 氧化铝、碳化硅、微孔材料 |
| 形状 | 可提供复杂的表面形状 |
| 尺寸 | 使用于φ200/300mm设备 |
| 特殊工艺 | 接合技术 |
京瓷一直专注于精密陶瓷领域，并根据需求场景不断完善和升级技术能力，持续优化零部件的性能、质量和精度，从而助力产品设备的升级迭代。
未来，京瓷也将继续发挥优势，不断为客户提供高质量、高精度的产品，同时也为半导体产业的蓬勃发展贡献力量。
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