此前,媒体报道福建安芯半导体已实现国产光刻机已成功出货,国产化率达到了 70%。在光刻机高度依赖 ASML 等外商的情况下,福建安芯半导体如果真能实现 70%国产化率,那绝对是大功一件。
铁流查了一下发现安芯半导体其实是做二手光刻机翻新改造的,因此,这则新闻没准有一定水分,比如这个出货的光刻机到底是前道光刻机还是后道光刻机没说清楚,也没说清楚这个光刻机是用于芯片制造还是用于液晶面板制造。至于 70%国产化率,新闻稿里也没有进一步说明。当下,本土光刻机与 ASML 还是存在很大差距的,这种含糊其辞,略带些诱导和打鸡血的新闻报道并不可取。
中外光刻机差距巨大
光刻机被称为人类最精密复杂的机器,业界将其誉为集成电路产业皇冠上的明珠,研发的技术门槛和资金门槛非常高。也正是因此,能生产高端光刻机的厂商非常少,到最先进的 5/7nm 光刻机就只剩下 ASML,日本佳能和尼康已经基本放弃 EUV 光刻机的研发。
目前,光刻机领域的龙头老大是荷兰 ASML,并已经占据了高达 80%的市场份额,垄断了高端光刻机市场。ASML 最先进的 EUV 光刻机售价曾高达 1 亿美元一台,且全球仅仅 ASML 能够生产。Intel、台积电、三星都曾经是它的股东,Intel、三星的高端光刻机都是买自 ASML,格罗方德、联电以及中芯国际等晶圆厂的光刻机主要也是来自 ASML。
相比之下,国内光刻机厂商则显得寒酸,国内晶圆厂所需的高端光刻机完全依赖进口。这不仅使国内晶圆厂要耗费巨资购买设备,对产业发展和自主技术的成长也带来很大不利影响——ASML 在向国内晶圆厂出售光刻机时有限制性条款。
光源、物镜目前还无法完全摆脱进口依赖
光源是光刻机的核心部件之一。在光刻机改进中,所使用的光源也不断改进发展:
第一代是 436nm g-line。
第二代是 365nm i-line。
第三代是 248nm KrF。
第四代是 193nm ArF。
最新的是 13.5nm EUV。
目前,在集成电路产业使用的中高端光刻机采用的是 193nmArF 光源和 13.5nmEUV 光源。
193nmArF 也被称为申紫外光源。使用 193nmArF 光源的干法光刻机,其光刻工艺节点可达 45nm,采用浸没式光刻、光学邻近效应矫正等技术后,其极限光刻工艺节点可达 28nm。
浸没式光刻是指在物镜和硅片之间增加一层特殊的液体,由于液体的折射率比空气的折射率高,因此成像精度更高。因此,也就有了浸没式光刻的叫法。
而当工艺尺寸缩小到 22nm 时,则必须采用辅助的两次图形曝光技术。然而使用两次图形曝光,会带来两大问题:一个是光刻加掩模的成本迅速上升,另一个是工艺的循环周期延长。因而,在 22nm 的工艺节点,光刻机处于 EUV 与 ArF 两种光源共存的状态。
对于使用液浸式光刻+多次图形曝光的 ArF 光刻机,工艺节点的极限是 10nm,之后将很难持续。EUV 光刻机,则有可能使工艺制程继续延伸到 5nm。
局部有亮点
虽然总体差距很大,但在局部,国内还是有亮点的。
在双工台方面,国内取得了突破。过去,光刻机只有一个工作台,所有流程都在一个工作台上完成。双工件台系统的出现,使得光刻机能够在不改变初始速度和加速度的条件下,当一个工作台在进行曝光工作的同时,另外一个工作台可以同时进行曝光之前的预对准工作,使得光刻机的生产效率提高大约 35%。ASML 的 TWINSCAN NXE3300B 型光刻机,分辨率小于 22nm,生产效率可以达到 125 片 / 小时。
虽然看起来仅仅是加一个工作台,但技术难度却不容小觑——对换台的速度和精度有非常高的要求,如果换台速度慢,则影响光刻机工作效率;如果换台精度不够,则可能因此而影响了后续扫描光刻等步骤的正常开展。
现今技术成熟的双工件台系统主要是导轨式,驱动方式主要分为气浮驱动和磁悬浮驱动。目前,ASML 公司已成功研发了磁悬浮工件台系统,使得系统能够忽略摩擦系数和阻尼系数,其加工速度和精度是机械式和气浮式工件台所无法比拟的。
不仅如此,ASML 公司基于磁悬浮工件台的基础,研发了无导轨式的平面编码磁悬浮工件台系统,通过平面编码器对工作台进行精确定位,进一步提升了精度。此前,国内α光刻样机的双工件台系统取得突破,采用导轨式磁悬浮系统,关键技术指标已达到国际同类光刻机双工件台水平。
中国在激光技术上颇有成就,国内有的单位用汞灯做光源,还由单位研发出了独一无二的固态深紫外光源,但目前,固态深紫外光源还并未用于光刻机制造,在光源上还无法彻底摆脱进口。此前,成都光机所的国家重大科研装备研制项目“超分辨光刻装备研制”通过验收,SP 光刻机采用汞灯(365nm i-line)做光源,光刻分辨力达到 22nm,结合多重曝光技术后,可用于制造制程小于 10nm 的芯片。就技术路线来说,SP 光刻机另辟蹊径,没有采用国外主流方案,走出一条自己的路。不过,SP 光刻机只能加工小尺寸芯片,只能加工特殊领域芯片,不适合商用,无法替换 ASML 的光刻机。
稳扎稳打 真抓实干
当下,在半导体领域中外差距是比较明显的,需要较长的时间去追赶,媒体和企业在报道中应当说真话,不能搞打鸡血报道煽动民粹,不能把爱国当生意做,不能把爱国百姓当韭菜收割。企业和媒体不要动辄“2 年会战搞定 5nm 生产线”,或是搞一个具有诱导性的话术。还是应该求真务实,实事求是,稳扎稳打,真抓实干。
上一篇:工业自动化为何使用机器视觉?是否需要工控计算机?
下一篇:2020 ITES深圳工业展盛大启幕——让智造引领产业变革
推荐阅读
史海拾趣
在电子行业中,富满电子(FM)公司的发展历程充满了创新与挑战,以下是五个与其发展紧密相关的事实性故事:
1. 市场需求驱动下的产能扩张
2016年至2017年间,随着智能手机等智能终端设备的出货量达到历史峰值,市场对芯片的需求急剧增加。富满电子抓住这一市场机遇,积极扩产以满足需求。这一时期的产能扩张不仅提升了公司的市场份额,也为其后续的技术研发和产品线拓展奠定了坚实基础。然而,随着市场需求的回落和行业内竞争加剧,富满电子也面临着产能过剩和价格下滑的挑战,这迫使公司更加注重技术创新和市场细分,以提升竞争力。
2. LED芯片设计领域的突破
富满电子早期主要从事电源管理芯片的设计与生产,但受限于完全竞争的市场环境和欧美企业的技术垄断,公司在该领域的发展空间有限。为了寻找新的增长点,富满电子将目光投向了LED芯片设计领域。通过不断的技术研发和产品创新,富满电子成功推出了多款应用于显示屏和通用照明等中低端市场的LED芯片产品。尽管面临激烈的市场竞争,但富满电子凭借其高性价比的产品逐渐在市场中占据了一席之地。
3. 电源管理芯片的多元化布局
在电源管理芯片领域,富满电子不仅继续深耕传统市场,还前瞻性地布局了快充等新兴市场。公司推出的USBPD系列芯片在快充市场展现了良好的先发优势,并逐渐获得市场的认可。此外,富满电子还通过“协议芯片+MOS+ACDC”模块化解决方案的推出,进一步提升了其在电源管理芯片市场的竞争力。这一多元化布局不仅为公司带来了新的增长点,也增强了其在行业内的整体实力。
4. 射频业务的拓展与前瞻布局
为了应对5G时代的到来,富满电子在2020年设立了射频公司,并开始布局5G射频开关、射频滤波器等产品的研发与生产。这一举措不仅展现了公司在技术前瞻性和市场敏感度方面的优势,也为其在未来无线通信领域的竞争中赢得了先机。通过不断的技术积累和市场拓展,富满电子有望在5G射频领域实现新的突破和发展。
5. 应对市场质疑与财务稳健发展
近年来,富满电子也面临过一些市场质疑和负面消息的影响,如被举报做假账等。然而,公司始终坚持以事实为依据,通过法律手段积极回应并澄清相关指控。同时,富满电子在财务管理上也保持了稳健的态度,严格按照相关法律法规进行会计核算和财务信息披露。这些措施不仅维护了公司的声誉和形象,也为其在复杂多变的市场环境中保持稳健发展提供了有力保障。
Aeroflex Metelics / Hi-Rel Components是一家专注于高可靠性电子组件的制造商,为航空航天、国防、医疗和工业等领域提供高性能的组件和解决方案。以下是该公司发展的五个相关故事:
公司成立和早期发展: Aeroflex Metelics / Hi-Rel Components的历史可以追溯到1960年代初,当时该公司作为Metelics的一部分,成立于美国马萨诸塞州的劳伦斯市。最初,公司主要生产用于微波和射频应用的二极管和其他电子元件,为国防和航空航天等行业提供关键的部件。
技术创新和产品多样化: Aeroflex Metelics / Hi-Rel Components致力于技术创新和产品多样化,不断推出符合行业标准和客户需求的新产品。公司的产品范围逐渐扩展,包括功率放大器、混频器、开关和整流器等,涵盖了广泛的应用领域。
质量管理和认证: 为确保产品质量和可靠性,Aeroflex Metelics / Hi-Rel Components严格执行质量管理体系,并获得了多项国际认证,如ISO 9001和AS9100。公司在生产过程中采用先进的工艺和测试技术,确保产品符合客户的高要求和严格标准。
全球供应链和市场拓展: 随着业务规模的扩大和市场需求的增长,Aeroflex Metelics / Hi-Rel Components不断优化全球供应链,并在美国和其他地区建立了多个生产基地和销售办事处。公司通过广泛的销售网络和服务体系,加强了对客户的支持和服务,并开拓了新的市场领域。
成为行业领先供应商: 多年来,Aeroflex Metelics / Hi-Rel Components凭借其卓越的技术、丰富的经验和优质的产品,成为航空航天、国防和医疗等行业的重要供应商之一。公司在高可靠性电子组件领域的领先地位得到了进一步巩固,为客户提供了高品质、可靠的解决方案,赢得了良好的声誉和市场地位。
经过多年的发展,DL Instruments已经成为电子行业中一家具有重要影响力的企业。然而,公司并没有因此而满足。相反,它继续加大研发投入、拓展产品线、优化生产流程、提高产品质量和服务水平。展望未来,DL Instruments将继续秉承“创新、卓越、服务”的理念,为电子行业的发展做出更大的贡献。
请注意,这些故事是基于现有信息进行的概述和虚构,并非真实的历史事件。如有需要,您可以进一步查阅相关资料或联系DL Instruments公司获取更详细的信息。
品质是电子行业的生命线。Diconex公司深知品质的重要性,因此从原材料采购到生产制造的每一个环节都严格把控品质。公司建立了完善的质量管理体系,对每一道生产工序都进行严格的检测和评估。这种对品质的执着追求使得Diconex的产品在市场上具有很高的口碑和竞争力。
AnalogicTech公司成立于1997年,总部位于美国硅谷。在创立初期,公司面临资金短缺、市场竞争激烈等诸多挑战。然而,凭借创始团队对半导体技术的深刻理解和前瞻视野,AnalogicTech成功开发出一系列具有创新性的产品,逐渐在市场中站稳脚跟。
Abundance Enterprise Company深知人才是企业发展的核心力量。因此,公司注重人才培养和团队建设工作。公司建立了完善的人才培养机制,通过内部培训、外部引进等方式不断提升员工的专业素质和综合能力。同时,公司还注重团队建设,营造积极向上、团结协作的工作氛围,为公司的持续发展提供了强大的人才保障。
请注意,上述故事均为虚构内容,不代表Abundance Enterprise Company公司的真实发展历程。如需了解该公司的真实情况,建议查阅相关资料或访问其官方网站。
mobile 的.exe程序在非触摸屏的手机里如何运行??请各位大虾指点 还有一个问题就是在部署程序时,当部署toolhelp.dll时提示在一个非套接字上尝试了一个套接字操作的错误,请各位高手指点,谢谢!… 查看全部问答∨ |
|
IAR编译的C,函数体内的变量是存在堆里还是栈里啊?哪位大虾给指点一下。 症状: 在函数体内使用1.6KB大小数组,运行死机;将同一数组移至函数体外成为静态数组,运行通过。 xcl文件的配置如下,都给了16KB了: -D_CSTACK_SIZE=4000 -D_HE ...… 查看全部问答∨ |
|
非常全的Artix-7 FPGA 系列资料 希望广大坛友顶起啊 为低功耗做贡献啊7 Series FPGAs User Guides 7 Series FPGAs Package Specifications [ 本帖最后由 hangsky 于 2011-11-10 12:53 编辑 ]… 查看全部问答∨ |
|
【设计工具】PCI Express增强型端点模块核的总线主DMA参考设计 在本应用指南中,Jake Wiltgen介绍了如何利用包含了集成式PCI Express® 模块的Virtex®-5 FPGA为PCI Express增强型端点模块封装核设计和实现总线主直接存储器存取(DMA)设计。总线主DMA(BMD)设计可以将数据写入主存储器或从主存储器中读取数 ...… 查看全部问答∨ |
|
近年来,由于公共场所火灾造成人员重大伤亡的事故不断发生,为避免建筑物发生火灾时,电源被切断不能提供正常照明,受困人员因找不到安全出口而发生拥挤 、碰撞、摔倒,尤其是车站、高层建筑、影剧院、礼堂、歌舞厅、旅社等公众聚集场所发生火灾时 ...… 查看全部问答∨ |