5纳米TEM试片制备能力泛铨领先_历史上今天-电子工程世界

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微缩技术不断演进，TEM试片制备厚度是TEM分析能力的重要指针，泛铨的超薄5奈米TEM试片制备能力，居同业之冠。

技术长陈荣钦博士表示，材料分析产业只要有钱、愿意投资，引入先进仪器并不难，但单凭设备并无法建立绝对的竞争力；他强调，好的分析设备须配合优异的试片制备技术以及精准的数据判读能力，这是分析质量的关键。

泛铨科技董事长柳纪纶表示，南科分公司重资引进先进设备，阵容浩大，将以「技术ｘ质量ｘ服务」为优势，迎接营运黄金世代。翁永全/摄影

以如何使低介电材料(Low-k)，不因电子束的照射导致缩小、变形为例，一般分析业者不外乎减少电子束照射能量与提升样品强度两样方式，而泛铨研发团队拥有独步全球的技术，制备低介质材料样品的收缩比例达到业界最好；此外，较软的材质「光阻」也是业界在分析上相当棘手的材料，特别在最先进的半导体技术上。半导体制程进到7奈米之后，极紫外光(EUV)光刻微影是关键技术，但曝光光阻可能产生的缺陷是需要克服的问题，泛铨领先世界发展的检测光阻缺陷技术，能在不损伤光阻材料情况下制备出完整样品，以便于分析曝光缺陷和制程问题，协助半导体厂改良制程。

有鉴于全球积极发展半导体技术，大厂间的角力竞争与窥探，轻则影响到公司的兴衰，重则可能动摇国本。柳纪纶表示，对半导体设计、制造商而言，芯片布局(layout)、使用材料等数据为制程命脉，需要长期留存，绝对不能外泄。泛铨认为，工程技术能力超群固然重要，信息安全更是重要的环节。

为妥善保全客户的数据，泛铨特别增设信息长职务以及营运保全处（BOSD），并规划滴水不漏的资安流程，严格执行，获得重要客户认同。泛铨实验室无论客户或员工，甚至泛铨董事长、总经理及副总等一线主管，进出实验室均需检查背包物品，相机、笔电及手机镜头贴上保密贴。实验室内多数区域列为严管禁地，只有被授权人员才能进出。

关键字：TEM 引用地址：5纳米TEM试片制备能力泛铨领先

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