宁波南大光电首条ArF光刻胶生产线已经投产

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据宁波市经信局消息，宁波南大光电材料有限公司的首条ArF光刻胶生产线已正式投产。

据报道，按照计划，该项目总投资6亿元，项目完全达产后，预计实现约10亿元的年销售额，年利税预计约2亿元。目前，该公司研制出的ArF(193nm)光刻胶样品正在供客户测试。

193nm 光刻胶作为当前高端芯片制造（ AI芯片、5G芯片、大容量存储器和云计算芯片等）中最为核心的原材料，被喻为半导体工业的“血液”，可以用于90nm~14nm技术节点的集成电路制造工艺。

宁波南大光电材料有限公司是江苏南大光电材料股份有限公司于2018年1月在北仑区芯港小镇成立的光刻胶配套材料子公司。今年4月16日，宁波南大光电材料有限公司浸没式光刻机搬入仪式举行。

据此前北仑新闻网报道，南大光电后也将建成国内第一个专业用于ArF光刻胶产品开发和生产的检测评估平台，同时建立配套完整的国产光刻胶产业链。

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