2020年11月13日 | EUV光刻机被美盯死：1.2亿美元也难买

中国需要光刻机，尤其是支持先进制程的高端光刻机。

具体来说，就是 EUV （极紫外光源）光刻机。

目前，世界上能够制造 EUV 光刻机的，只有一家公司，它就是荷兰光刻机巨头 ASML（中文名为阿斯麦）。实际上，作为一家外企，ASML 进入到中国市场已经超过30年，可以说是渊源深厚。

但是，由于商业之外的原因，ASML 无法向中国大陆市场出口 EUV 光刻机，尽管它自己其实是非常乐意的。

背后的始作俑者，还是美国。

ASML 与中国市场的深厚渊源

中国大陆市场，一直是 ASML 在全球范围内最重要的市场之一。

以2020年为例，ASML 在第二季度总共卖出了61台光刻机（包括新设备和二手设备），在第三季度卖出了60台——这其中，有超过24台是卖给了中国大陆。

按照 ASML 全球副总裁、中国区总裁沈波的说法，2020年第二、第三季度，公司发往中国大陆地区的光刻机台数超过了全球总台数的20%。

当然，这些出售到中国大陆的光刻机，不包含 EUV 设备。

对此，沈波表示：

ASML 必须要在遵守法律法规的前提下进行光刻机出口。但我们对向中国出口光刻机是保持很开放态度的，我们对全球客户都一视同仁，只要是我们能够提供的技术和设备，我们都会全力支持。

可以看到，如果排除外界因素的干扰，ASML 自身是很有诚意与中国合作的。

雷锋网了解到，ASML 成立于1984年；当时，市面上尚有多家生产光刻机的公司，而 ASML 位居最后一名。不过，仅用2年时间，ASML 就研制出了型号为 PAS2500的晶圆步进式光刻机（Stepper），它可以生产 VLSI 一代的芯片，这使 ASML 在市场上站稳了脚跟，并拥有了一定的名气。

值得一提的是，早在1988年，ASML 在进军亚洲之时，就向中国大陆发售了最早一台设备。

经过三十多年的深耕，ASML 在中国大陆已经出售700多台光刻机装机，涵盖了 ASML 公司的（EUV 设备之外）的绝大部分类型产品。

不仅如此，在2000年天津成立分公司的基础上，ASML 目前在中国设有12个办公室，11个仓储物流中心，2处技术开发中心（深圳和北京，做计算光刻、量测等开发），拥有1000多名员工。

此外，ASML 还在中国专门建设了1个培训中心，培养光刻行业人才。

正如沈波所言，在遵守法律法规的同时，ASML 全力支持客户和中国集成电路行业的发展，在每个阶段 ASML 和中国集成电路业界都有着很好的合作。

他还表示，ASML 在中国的整体状态越来越好，未来服务会更多样化，对中国的投入也会越来越大。

EUV 光刻机未能出口中国大陆的根本原因

作为全球最大的光刻机企业，ASML 独自享受着 EUV 光刻机技术带来的商业发展便利，但同时也不得不承受大国竞争和冲突下的沉重政治枷锁。

一个典型的案例，就是 EUV 光刻机向中国大陆出口受阻。

EUV 光刻机是光刻机在发展过程中的第五代产品，由于采用了极紫外线，它的最小工业节点到了22nm-7nm，可以说是世界上最先进的光刻机设备——而这种设备，只有 ASML 能造出来。

在 EUV 技术的研发层面，ASML 也经历了艰苦跋涉的过程。

实际上 ASML 从1999年就开始 EUV 光刻机的研发工作，原计划在2004年推出产品，但直到2010年才研发出第一台 EUV 原型机，2016年才实现下游客户供货——甚至到2019年，第一款7nm EUV 工艺的芯片才正走向商用。

不过，在美国主导的《瓦森纳协定》（Wassenaar Arrangement）的影响下，这一高端设备对中国大陆的出口受到严格限制——一直到2018年才发生转机。

2018年4月，中芯国际向 ASML 订购了一台 EUV 光刻机，价值1.2亿美元，预计2019年年初交货——后来此事被报道后，ASML 回应称，对包括中国客户在内的全球客户都一视同仁，且向中国出售 EUV 光刻机并没有违反《瓦森纳协定》。

当时，荷兰政府的确向 ASML 发放了出口许可证。

然而，天有不测风云，这场交易从一开始就受到阻碍。根据知情人士的说法，美国立即盯上了这笔交易——接下来的几个月里，美方官员至少四次与荷兰官员开会，讨论可否直接封杀这笔交易。

但雪上加霜的是，2018年12月1日，ASML 元件供应商 Prodrive 的一家工厂又发生重大火灾，ASML 当时公开表示，2019年年初的出货预计将遭递延。

与此同时，美国政府继续就这笔交易进行背后运作。

2019年元旦前后，美国国防部官员在荷兰驻华盛顿大使馆向对方讨论了这笔交易的 “安全风险”；随后在2019年6月，美国国务卿蓬佩奥访问荷兰，再次向荷兰政府施加压力，要求停止这笔交易。

值得一提的是，2019年6月30日，荷兰政府向 ASML 颁发的出口许可证到期。

2019年7月，荷兰首相 Mark Rutte 访问美国，美国白宫高级官员向他展示了一份情报报告，内容是所谓 “中国获得光刻机的可能后果”。据路透社报道，这次访问后不久，荷兰政府决定不再续签这份许可证——此后 ASML 未出现在荷兰外交部数据库的续签名单上。

此后，关于 EUV 光刻机向中国大陆出口，ASML 的官方说法一直是：公司仍在等待新许可证申请的批准。而针对媒体对于美国施压的报道，荷兰外交部也在2020年在1月15日表示：

在决定是否签发出口许可证时，荷兰政府要权衡经济和安全利益。

由此，ASML 向中国市场出售 EUV 光刻机的计划，就此搁置。

小结

2020年，随着美国对中国半导体领域的打压，国人对于光刻机的关注度越来越高，而 ASML 也因此受到关注。

但能否向中国大陆出售 EUV 光刻机，的确非 ASML 所能左右。

可以确定的是，对于向中国大陆市场出售光刻机一事，ASML 一直是非常积极的。根据 ASML 中国区总裁沈波的最新说法，ASML 已经向荷兰政府提交出口 EUV 光刻机的申请，目前还在等待荷兰政府的出口许可证。

而荷兰政府，则还在等待美国政府的态度。

当然，目前美国政府的态度也存在不确定性，特朗普眼下必然无心考虑此事，恐怕一切还要等到明年新一届美国政府正式上任之后。