集微网消息，飞鹿股份发布公告，公司全资子公司飞鹿股份拟合计以3260万元对恩腾半导体增资。同时，公告称，恩腾半导体在半导体清洗设备行业拥有较强的技术研发能力及渠道资源，有能力为国内主流半导体制造企业供货。
随着半导体制造设备的微细化和高集成化的发展，晶片表面污染对制造、设备特性和可靠性产生的影响正在逐渐扩大，而设备加工环境变得愈加复杂，污染物的清除也更加困难。
很多电子器件分析数字显示，在仪器产生不良现象的原因中，70%以上是因为表面污染。因此，目前制造设备最关心的是能控制晶片表面的污染到什么程度，最大的难关是消除污染物。
目前，晶片及半导体制造工艺使用的湿洗工艺使用的是1970年代Kern提出的RCA洗涤方法，这种湿洗法对从硅表面去除粒子、金属杂质和自然氧化膜很有效，与其他清洁方法相比具有较高的生产率。
但尽管如此，由于RCA清洗方法使用了大量的化学清洗剂，所以存在着化学废水处理难以及环境管制等问题。为此，恩腾半导体在2020年12月28日申请了一项名为“一种晶片表面污染清洗方法”的发明专利（申请号：202011573209.9），申请人为苏州恩腾半导体科技有限公司。
根据该专利目前公开的相关资料，让我们一起来看看这项技术方案吧。
该专利中的方案主要包括以下步骤：
1）首先，将晶片置于常温下的超纯水中清洗，清洗时间为300秒；
2）其次，将晶片移至氨水、双氧水混合溶液中进行超声波清洗，温度控制在60-70摄氏度，清洗时间同样为300秒；
3）将晶片进而移至常温的超纯水中漂洗，清洗时间为300秒；
4）将晶片移至盐酸、双氧水混合溶液中进行清洗，温度为常温，清洗时间为300秒；
5）将晶片移至常温的超纯水中进行超声波漂洗，这种超纯水内含有10-20PPM浓度的臭氧，清洗时间为300秒；
6）最后，将晶片进行干燥，该方案中使用的干燥剂为SUS316。
该专利中对上述方案进行测试后发现，臭氧浓度越大并且处理时间越长，则初期氧化膜的厚度就越厚，而倘若初期氧化膜越厚，厚度增加分量就越少。因此，在晶片表面进行臭氧处理时生成的氧化膜，通过将晶片表面亲水化，污染物质将无法吸附。
如上图所示，为一些晶片的清洗数据，可以看到，这种利用臭氧来进行晶片的洗涤方案，跟以往清洗方法相比，不仅减少了化学液H2SO4、HCl、HF及NH4OH的使用量，同时也减轻了对后续废液处理的难度，同时采用该方法表现出更好的洁净效果。
以上就是恩腾半导体发明的晶片表面污染的清洗方案，在该方案中，通过利用臭氧作为洗涤的原料，减少了硫酸、盐酸等物质的使用量，从而减轻了对后续废液处理的难度，同时采用该方案中的方法也表现出更好的洁净效果。
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史海拾趣
台湾富晶（FORTUNE）公司的发展故事
故事一：初创与先驱之路
富晶电子股份有限公司（Fortune Semiconductor Corp.），中文简称富晶，成立于1995年，总部位于台湾新北市淡水区。作为亚洲最早切入模拟IC设计的先驱之一，富晶自创立之初便专注于电路设计与整合技术。在那个数字科技刚刚起步的时代，富晶凭借其前瞻性的视野和深厚的技术积累，迅速在模拟IC设计领域崭露头角。公司不仅精通电路设计，还擅长将先进的SOC/SIP技术应用于实际产品中，为消费电子、电源管理、家用电器等多个领域提供了高性能的IC解决方案。
故事二：性价比优势与市场拓展
随着消费性电子产品的价格逐渐亲民，富晶的产品因其优良的电路设计和品质，在电源管理IC和电池管理IC等模拟IC领域展现出了强大的性价比竞争力。在过去十年中，富晶成功帮助众多制造商提升了消费性电子产品的价值，推动了手机、笔记本电脑、数码相机等产品的普及。制造商们选择富晶的IC产品，不仅因为其稳定的质量和卓越的性价比，还因为富晶能够持续稳定地供货，满足了市场对高效、可靠电子元件的迫切需求。
故事三：技术创新与产品升级
富晶始终将技术创新视为企业发展的核心动力。公司不断投入研发资源，致力于开发更加先进、高效的IC产品。通过不断优化电路设计、提升制造工艺，富晶成功推出了一系列具有行业领先水平的产品，如FS98O24、FS8855等电源管理IC和电池管理IC。这些产品不仅性能卓越，而且功耗更低、体积更小，满足了市场对电子产品轻薄化、绿色化的需求。
故事四：贴近市场与客户需求
自成立以来，富晶始终秉持着贴近市场、满足客户需求的服务理念。公司密切关注市场动态和客户需求变化，及时调整产品策略和服务模式。通过与客户建立紧密的合作关系，富晶能够深入了解客户的实际需求，为客户提供定制化的解决方案。这种贴近市场的服务模式不仅赢得了客户的信赖和支持，也为富晶在激烈的市场竞争中赢得了宝贵的市场份额。
故事五：全球化布局与未来发展
随着全球化进程的加速推进，富晶也加快了其全球化布局的步伐。公司不仅在国内市场取得了显著的成绩，还积极拓展海外市场，与众多国际知名企业建立了长期稳定的合作关系。同时，富晶还注重与国际先进技术的交流与合作，不断提升自身的技术水平和创新能力。展望未来，富晶将继续秉承“创新、卓越、共赢”的发展理念，致力于成为全球领先的模拟IC设计企业，为电子行业的繁荣发展贡献更多的力量。
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