对于许多仍在使用旋转轮的离子注入设备,大颗粒粒子可能掉落在晶圆表面,这如同一个高速导弹与建筑物的墙壁碰撞。在先进中
对于许多仍在使用旋转轮的离子注入设备,大颗粒粒子可能掉落在晶圆表面,这如同一个高速导弹与建筑物的墙壁碰撞。在先进中
据悉,中国电子科技集团旗下电科装备自主研制的高能离子注入机,成功实现百万电子伏特高能离子加速,性能达到国际先进水平。
烁科中科信宣布,12英寸中束流离子注入机顺利搬入集成电路大产线,此举标志着国产离子注入机市场化进程迈向新台阶!
据悉,国内重要的12英寸晶圆芯片制造厂及存储器芯片设计制造厂已对万业企业旗下凯世通集成电路离子注入设备启动认证程序
6月16日晚间,万业企业(600641.SH)就上交所年报问询进行了回复,进一步说明公司向集成电路领域转型的实施情况及
随着中国“芯”浪潮的推进,半导体国产替代进程也已进入到白热化状态。万业企业(600641)旗下凯世通半导体作为本土唯一