专题 < 示差折光检测器
示差折光检测器是一种用于检测物体表面形貌和高度的仪器，其原理基于干涉仪的工作原理，通过测量光束在被测物体表面反射或透射后产生的相位差，从而实现对微小高度变化的测量。1. 示差折光检测器利用干涉仪原理，实现了对被测物体表面形貌和高度的非接触式测量。它将输入的单色激光束分为两束，经过不同路径后，再由探测器进行信号转换和处理，得到被测物体表面的微小高度差和形貌信息。2. 当激光光束照射到被测物体表面时，反射或透射的光束与参考光束相遇，导致光程差的变化，进而引起干涉条纹的移动。探测器测量光干涉条纹的强度变化，并将其转换为电信号进行处理和输出，从而实现对被测物体表面高度差的测量。3. 示差折光检测器在表面形貌、粗糙度、薄膜厚度等方面有着广泛的应用。它被广泛用于半导体晶片制造、光学元件制造、高精度机械加工和装配、医学成像等领域。通过使用示差折光检测器进行精密测量，可以提高测量精度和效率，减少对被测物体的损伤。
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