半导体被大量使用于手机、平板电脑等移动终端以及大数据处理必备的数据中心服务器等,随着物联网(IoT)时代的到来,今后,半导体的用途还将进一步扩大到家电、汽车、医疗、卫生保健等领域。此外,以大数据可实现的人工智能 (AI)、虚拟现实(VR)、增强现实(AR)、混合现实(MR)为首的应用及服务需要用到能以高速、节能的方式对大量数据进行处理的半导体,这意味着半导体还需要在技术方面继续向前迈进。
东电电子可提供丰富的半导体制造设备,同时提供卓越的技术支持。公司产品阵容齐全,主要包括晶圆处理工艺中使用的涂胶/显影、刻蚀装置、成膜装置、清洗装置,晶圆检查工艺中使用的探测器等。此外,公司还经营先进包装工艺中使用的镀膜装置、晶圆键合/分离装置等。
平板显示器(FPD)不仅用于电视,也用于手机、平板电脑等,是我们日常生活中不可或缺的。今后,预计面向 VR/AR的头戴式显示器等新型需求会扩大。东电电子运用在半导体制造设备的开发中培养的技术力量,为FPD涂胶/显影、FPD刻蚀/灰化装置提供有力的技术支持。今后,为顺应有机EL显示器市场的扩大,公司还将提供用于生产大型基板有机EL面板的喷射描画装置。
东电电子在半导体制造设备与FPD制造设备领域拥有丰富的产品阵容,是世界上屈指可数的多样化产品供应商。我们以设立在中国、日本、美国、欧洲、亚洲,以及各地区的全球化据点为基础,夜以继日地为全球客户的生产线做贡献,通过不懈的技术革新开拓数字网络时代的未来。
Tactras™ Vigus™
Plasma Etch System
Certas LEAGA™
Gas Chemical Etch System
CELLESTA™ -i MD
Single Wafer
Cleaning System
CELLESTA™ -i
Single Wafer
Cleaning System
EXPEDIUS™ -i
Auto Wet Station
TELINDY PLUS™
Thermal processing
system
NT333™
Atomic Layer
Deposition System
Triase+™ Ti/TiN
Single Wafer
Deposition System
Cellcia™
Multi-Cell Test System
Precio™ XL
Wafer Prober
Betelex™
FPD Etch/Ash System
Exceliner™
FPD Coater/Developer